示蹤氣體是在研究空氣流動(dòng)時(shí)可以與空氣混合的氣體的總稱，可以在非常低的濃度下測(cè)量而本身沒(méi)有任何變化。示蹤氣體包括氯仿、二氧化氯、過(guò)氧乙酰硝酸酯、氧化氮、二氧化硫、氡氣和汞。由于示蹤氣體的總量非常小，它們的變化范圍可能非常大?？諝獬煞种凶兓畲蟮氖嵌趸?，自工業(yè)化開(kāi)始以來(lái)，其濃度增加了約40%。

　　

　　示蹤氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)提供部件排空、測(cè)試壓力、總泄漏測(cè)試、示蹤氣體回填，并執(zhí)行排氣過(guò)程。集成了一個(gè)易于跟蹤的氣體泄漏測(cè)試系統(tǒng)，它可以與大多數(shù)質(zhì)譜儀通信，并為過(guò)程控制提供測(cè)試結(jié)果管理。此外，可以控制泄漏測(cè)試系統(tǒng)中使用的基本機(jī)器功能，如工具運(yùn)動(dòng)控制和條形碼掃描。如果需要更復(fù)雜的機(jī)器排序，它可以與基于PLC或PC的控制系統(tǒng)集成，提供更過(guò)程控制。
 

　　

　　用示蹤氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)泄漏的操作步驟如下。

　　

　　1、將示蹤氣體壓力調(diào)節(jié)閥調(diào)整到適當(dāng)?shù)膲毫ΑＨ绻麑⒄{(diào)整好的噴嘴浸入水中，每秒鐘會(huì)產(chǎn)生2-5個(gè)氦氣泡。

　　

　　2、在任何時(shí)候，首先檢查真空系統(tǒng)中要消除的部件與質(zhì)譜儀檢漏儀的測(cè)試氣口之間的所有管道（如配件、管道等）的連接情況。

　　

　　3、從系統(tǒng)或部件的最高點(diǎn)往下開(kāi)始檢測(cè)，以減少氣體漂移。記住，氨氣是一種非常輕的氣體，會(huì)上升。

　　

　　4、大面積漏氣檢測(cè)。

　　

　　在所有表面、接頭和管道上快速移動(dòng)探頭，在大面積上噴氦氣。如果檢漏儀沒(méi)有反應(yīng)，說(shuō)明系統(tǒng)是真空密封的，沒(méi)有漏氣。如果檢漏儀有反應(yīng)，等待檢漏儀恢復(fù)（排空氦氣），然后確定泄漏位置。

　　

　　注意：噴灑過(guò)多的氦氣會(huì)增加真空室中空氣的背景含量，導(dǎo)致質(zhì)譜儀檢漏儀的基數(shù)增加。如果過(guò)量的氨氣被噴到真空室外，可以用壓縮空氣來(lái)驅(qū)散它。如果真空系統(tǒng)中的氨氣已經(jīng)飽和，應(yīng)使用氮?dú)饣驓鍤膺M(jìn)行沖洗。

　　

　　5、縮小泄漏范圍的方法（泄漏的局部位置）。